スウェージロックは、超高純度用バルブのパフォーマンスの限界に挑戦し続けることで、高温かつ高速下での高い信頼性、クレンリネス、安定した流れを維持する製造装置を構築する装置メーカーやインテグレーターをサポートしています。また、半導体デバイス・ファブリケーターやファウンドリー、そしてそれらを支えるメカニカル・コントラクターやガス／化学物質サプライヤー向けに、半導体製造アプリケーションにおいて信頼性の高いパフォーマンスを発揮するさまざまな一般産業用流体システム製品を提供しています。
半導体製造環境に適したホースとして、チラー用の 断熱ホース のほか、PTFEホース、メタル・ホース、ハイブリッド・ホース、ゴム・ホース を提供しています。また、半導体製造用の コンボルーティッド・メタル・チューブ または PFAフレキシブル・チューブ から選ぶことができます。
流体システム全体の圧力を効率的に制御するには、スプリング・ロード式 および ドーム・ロード式 の減圧レギュレーター、コンパクトな高純度／大流量用ガス・レギュレーター を使用してください。
Swagelok円周溶接機（オービタル・ウェルディング・システム）を使用することで、一貫して効率的な溶接を実現することができます。コスト効率がよく信頼性の高い円周ガス・タングステン・アーク溶接（GTAW）を行うことができ、チューブとパイプのいずれも使用することができます。
Swagelokハンド・チューブ・ベンダー、ベンチ・トップ式チューブ・ベンダー、電動式チューブ・ベンダー を使用すると、チューブ（インチ・サイズまたはミリ・サイズ）を正確かつ容易に曲げることができるため、取り付けに必要な時間や労力を削減することができます。
特定の課題を解決するべく、特注の製品や流体システム・アセンブリー、または現場でのコンサルティングが必要ですか？スウェージロックにご相談ください。技術的な専門知識やアプリケーションに関する知識を駆使し、カスタム流体システム・ソリューションの開発、流体システムの問題のトラブルシューティング、トレーニングなどを通じて、製造プロセスにおける限界の克服や新しい製造用化学物質を用いた実験のほか、それらに伴う時間の削減への取り組みを含めてサポートします。
原子層蒸着、エッチング、フォトリソグラフィーなどのプロセスにおいて、スウェージロックの専門スタッフは、施設の安全性と効率を高めるべく、流体システムの現地調査、ホース・アドバイザーによる評価、漏れ検出調査 を実施します。
プロジェクトの開始前、そしてファブ建設プロジェクトの各段階において、スウェージロックの流体システム専門スタッフが、継続的な現地サポートを通じて、工数の削減、スケジュールの管理、産業用流体システムの長期的なパフォーマンス向上をサポートします。
プロセス・ノードの微細化が進む中、スウェージロックは高い歩留まりの維持に欠かせない超高純度のクレンリネス・レベルと極めて高い投与精度の実現をサポートします。品質とプロセスの再現性を追求することで、スウェージロックの超高純度用バルブ製品は、一貫したパフォーマンス、熱安定性、クリーンかつ信頼性の高い切り替えを実現しているほか、コンタミネーションを防止し、安全かつ確実に封止します。スウェージロックの流体システム専門スタッフは、その豊富な知識を駆使し、どの流体システム製品、アセンブリー、設計、材料を選定すれば、クレンリネスや精度を損なうことなく、デバイスのスループットと歩留まりを最大化できるかについて知見を提供します。
また、高温または大流量でのパフォーマンスが要求される化学物質やプロセスの実験を、お客さまと共同で行うことも可能です。スウェージロックのアプリケーション・エンジニアは、半導体業界に精通しており、進化するプロセス・スピードや投与精度の要件に関する最新情報も把握しています。このため、技術的な知識、高度なソフトウェア、製造に関する専門知識を駆使して独自のソリューションを開発し、お客さまがプロセス上の課題を解決し、革新を続けるために必要なサポートを行うことができるのです。
半導体の製造コストと製品の価格を考えると、収益性を維持するにはダウンタイムの回避が不可欠です。総所有コストを最小限に抑えるべく、スウェージロック製品は過酷なプロセス環境で数百万サイクルにもわたって安定したパフォーマンスを発揮するように設計されています。蒸着用の 新しいプリカーサー・ガスを検証する には、高温の製造プロセスや、腐食性の高い流体に流体システム製品が耐えられることが必要です。スウェージロック製品は、過酷な条件でも長く使用し続けることができるため、交換頻度が少なくてすむほか、プロセスのダウンタイムを最小限に抑えてスループットを最大化することが可能です。
デバイス製造装置をはじめ、多岐にわたる他の施設アプリケーションにおいても信頼性の高いパフォーマンスを発揮する流体システム製品を提供することで、半導体施設全体におけるメンテナンス、修理、オペレーションに伴うダウンタイムを回避し、コストを最小限に抑えられるようサポートします。スウェージロックの認定を受けた各地の流体システム専門スタッフは、施設を訪問するかバーチャルで対面し、技術サポート、システム設計に関するアドバイス、システムの問題のトラブルシューティングを提供し、流体システムのトレーニングを実施し、メンテナンスやオペレーションのベスト・プラクティスに関するコンサルティングを行うことで、システムのパフォーマンス向上をサポートします。製造装置の取り付けから設備向け配管の構築まで、また特殊ガスや化学物質の供給からユーティリティ設備まで、スウェージロックは流体システムを包括的にサポートします。
スウェージロックは、お客さまが期待する高い品質と一貫性を実現するべく、スタッフ、プロセス、テクノロジーを駆使して、オペレーション全体にわたって一貫性のある製品を提供します。こうした一貫性は、スウェージロックが20か所におよぶ製造施設で押し進めている厳格な 製造工程管理 のたまものであり、数千人もの従業員に支えられています。従業員は、製品開発、トレーニング、フィールド・サービス、テクニカル・サービス、物流管理、計画サポートのほか、必要に応じて専門知識を提供することで、流体システムのライフサイクル全体にわたって信頼性の高いパフォーマンスを維持できるようサポートします。世界70カ国で200カ所を超える指定販売会社からなるグローバル・ネットワークを通じて、包括的な販売、設計／アセンブリー、トラブルシューティング、トレーニングなどを提供するほか、6カ所のグローバル・テクノロジー・センターでは、半導体アプリケーションに詳しいエンジニアリング専門スタッフがサポートします。
部品の安定供給が重要であると認識し、製造能力およびサプライ・チェーンの拡充、半導体顧客との関係構築に多大な投資を行うことで、ニーズを先読みし、必要なときに必要な製品を提供しています。各地の指定販売会社をベースにした製品在庫、グローバルなサプライ・チェーン、合理化を図った注文調達プロセス、ロジスティック・ネットワークを通じて、必要な製品をすぐにお届けします。
半導体施設で使用する化学物質の性質上、流体の漏れには細心の注意を払う必要があります。流体システムの漏れを回避するには、半導体製造装置はもちろん、それ以外でも システム部品を慎重に選定する 必要があります。適切な断熱を施していなかったチラー・ホース の外側に結露が生じたといった単純な問題であっても、スリップ事故やダウンタイムにつながる前に、流体が漏れた場所を特定する必要があります。こうした問題を回避するため、漏れがなく耐食性に優れた流体システム製品およびアセンブリーを、施設の安全性向上を目的に組み立てて提供しています。耐薬品性を考慮して厳選した材料から部品を製造し、半導体製造アプリケーションにおける耐食性を高めるための表面処理を行っています。お客さまとプロセスの完全性を保護するべく、製品の検証プロトコルでは、極端な温度下でも腐食性物質を使用できることを確認しています。
また、スウェージロックのトレーニング講師はその豊富な経験を活かし、製品選定、取り付け、メンテナンス、システム設計に関するトレーニングを行い、安全なオペレーションを維持しながら、信頼性の高い流体システムのパフォーマンスを長期にわたって実現するのに必要な知識を提供します。
ファブ施設を新たに建設する場合、スウェージロックのグローバル・コンストラクション・サービスの専門スタッフが、スケジュール通りかつ予算内にプロジェクトを進め、流体システムの迅速かつ信頼性の高いオペレーションを実現するようサポートします。流体システムの専門スタッフは、パフォーマンス基準を満たすべく、テクニカル・サポート、製品選定、仕様、設計に関するコンサルティングを行います。例えば、高パフォーマンスのホースを提案することで、冷却システムやプロセス・ガスの供給システムの設計と取り付けの簡素化を図ります。標準ターンキー方式の流体システム・アセンブリー（ガス供給用のパージ・パネル・ソリューションやユース・ポイントのアプリケーションなど）を導入することで、取り付け、メンテナンス、使用の簡素化および工数の削減をサポートします。 また、現場内外での包括的な資材管理［ベンダー・マネージメント・インベントリー、キッティング、戦略的在庫管理など］をサポートすることで、生産性の向上やスケジューリングの改善を実現します。
装置の取り付けにあたっては、ガス設計エンジニア、機械請負業者、特殊化学物質業者を派遣すると共に、流体システムの設計と組み立て、円周溶接、製品の選定、取り付け、検査に関するアドバイスおよびトレーニングを提供します。また製造装置、水道管やガス管の接続部に不具合がないか、スウェージロックが構築した流体システム・アセンブリー（ガス・パネルなど）やホースの接続部に漏れがないかをチェックし、始動やバリデーションの準備が整っているかを確認します。
今回は、高品質な流体システム部品やアセンブリーを選定することで、半導体ファブの建設に要する時間の短縮と、施設の寿命にわたる総所有コストの削減が実現する理由について紹介します。
今回は、重要な流体システム部品に適した金属材料を選定することで、エンドからエンドまでの製造の歩留まりを高め、長期的な収益性の向上を図る方法を紹介します。
半導体装置メーカー、マイクロチップ・メーカー、流体システム・ソリューションのプロバイダーが連携することで、数十年間にわたっていかにして半導体市場はムーアの法則の要求に追いつくことができたのでしょうか。これからの展望と併せて紹介します。
今回は、製薬や半導体など各種業界で使用されているチューブ／フレキシブル・ホース用のエンド・コネクション・タイプ、そして実際のアプリケーションに最適な製品を評価／選定する方法を紹介します。
