La válvula ALD20 UHP ofrece nuevas posibilidades para la producción de semiconductores
La válvula ALD20 UHP ofrece nuevas posibilidades para la producción de semiconductores
La válvula avanzada permite a los fabricantes de chips experimentar con nuevos precursores debido a su mayor capacidad de flujo, estabilidad térmica y precisión extrema.
SOLON, Ohio: (01 de febrero de 2020) – Swagelok, proveedor líder de soluciones de productos, conjuntos y servicios relacionados para sistemas de fluidos, ha anunciado el lanzamiento de una nueva válvula de pureza ultraalta (UHP) para aplicaciones de alto flujo: la ALD20. Desde que introdujo en el mercado la tecnología de válvulas de deposición de capas atómicas (ALD), Swagelok ha trabajado con fabricantes de herramientas semiconductoras y fabricantes de chips para proporcionar el rendimiento necesario para seguir el ritmo de los requisitos de proceso que cambian rápidamente. La nueva válvula ALD20 es el último resultado de esta colaboración, que permite a los diseñadores de procesos con visión de futuro la flexibilidad de experimentar con químicas de baja presión de vapor que pueden ser la clave para la ventaja competitiva del mañana.
El diseño pendiente de patente del ALD20 maximiza la eficiencia del proceso de producción y la consistencia de la deposición al proporcionar coeficientes de flujo dos o tres veces más de lo que se puede lograr utilizando la tecnología de válvula ALD estándar actual. Puede ofrecer un caudal de hasta 1,2 Cv en el mismo espacio (1,5 pulgadas) que las válvulas ALD existentes, lo que permite a algunos usuarios aumentar el rendimiento sin necesidad de reequipar el equipo existente ni realizar cambios adicionales en el proceso. La otra válvula ALD20 de versión estándar con un ancho de huella ligeramente mayor (1,75 pulg.) proporciona un caudal aún mayor de hasta 1,7 Cv. También están disponibles coeficientes de flujo personalizados.
Diseñado para lograr la máxima consistencia del proceso, el ALD20 puede ser completamente sumergible en una caja de gas desde 50 °F (10 °C) hasta 392 °F (200 °C), lo que mejora la estabilidad térmica y la uniformidad de la deposición. También cuenta con un cuerpo de válvula compuesto de acero inoxidable 316L VIM-VAR o aleación 22, que ofrece una mayor resistencia a la corrosión para soportar medios agresivos, así como un fuelle altamente pulido con un diámetro de 5 pulg. Acabado Ra para respaldar un funcionamiento limpio para la integridad del proceso a largo plazo.
"El ALD20 es una respuesta directa a las necesidades en rápida evolución de la industria de semiconductores", afirmó. dijo Garrick Joseph, director de marketing de semiconductores de Swagelok. "A través de la asociación con líderes de la industria y la aplicación de nuestra experiencia en ingeniería de sistemas de fluidos, nos complace lanzar un producto que permite a los clientes utilizar de manera efectiva químicas de gases precursores que anteriormente podrían haberse considerado demasiado desafiantes o demasiado costosas de emplear, pero que podrían ser cruciales". al desarrollo de la próxima generación de tecnología de chips”.
El ALD20 está disponible hoy en configuraciones modulares de montaje en superficie con dos o tres puertos, en configuraciones rectas con tubo soldado a tope y conexiones finales de ajuste de sello frontal VCR® macho o hembra, y en multipuerto. Configuraciones de válvulas para optimizar las rutas de flujo dentro de sistemas nuevos o existentes. También está disponible como componente adicional un sensor de posición óptico de alta temperatura.
Para obtener más información sobre la nueva válvula Swagelok ALD20 UHP para aplicaciones de alto flujo, visite Swagelok ALD20 o póngase en contacto con un centro local de ventas y servicio Swagelok.
Acerca de Swagelok
Swagelok Company es un desarrollador privado de aproximadamente 2 mil millones de dólares de productos, conjuntos y servicios de sistemas de fluidos para las industrias de petróleo y gas, química y petroquímica, de semiconductores y de transporte. Con sede en Solon, Ohio, EE.UU., Swagelok presta servicios a sus clientes a través de 200 centros de ventas y servicios en 70 países, respaldados por la experiencia de 5.500 asociados corporativos en 20 instalaciones de fabricación y cinco centros tecnológicos globales.