Swagelok Anuncia el Lanzamiento de la Válvula para ultra alta pureza (UHP) ALD7
La nueva válvula UHP ALD7 Swagelok® Permite a los Fabricantes de Semiconductores Mejorar la Producción de Chips
Esta válvula de diafragma avanzada ofrece la máxima precisión de dosificación, una actuación rápida y un rendimiento constante a lo largo de decenas de millones de ciclos de producción.
Solon, Ohio (2 de Agosto de 2022) - Swagelok, proveedor líder de productos para sistemas de fluidos, ensamblajes y servicios relacionados, ha anunciado el lanzamiento de la válvula de diafragma Swagelok® ALD7 para ultra alta pureza (UHP), un producto capaz de ofrecer la consistencia y larga vida útil necesaria para que los fabricantes de semiconductores mejoren la producción de chips. Comparada con la actual válvula ALD6 de primera línea Swagelok, la ALD7 ofrece mejor consistencia del caudal, capacidad de caudal y velocidad del actuador. También ofrece el rendimiento a altas temperaturas necesario para que los fabricantes de chips superen las limitaciones de los actuales procesos de producción y se mantengan al día de la demanda.
Las válvulas ALD7 pueden integrarse tanto en herramientas nuevas como en equipos ya existentes para ofrecer una capacidad de caudal mejorada (hasta 0,7 Cv) en el mismo espacio de 38,1 mm (1,5 pulgadas) que las válvulas existentes, lo que ayuda a los fabricantes a mantener el ritmo de la fuerte demanda mundial de chips que impulsan la tecnología avanzada. Las válvulas ALD7 ofrecen una dosificación precisa a lo largo de decenas de millones de ciclos de producción ALD (deposición de capas atómicas) actuando con mayor rapidez y consistencia que su predecesora, la ALD6. El tiempo de respuesta de apertura y cierre del actuador puede ser inferior a 5 ms. El actuador es sumergible hasta 150°C (302°F) y el cuerpo de la válvula está clasificado hasta 200°C (392°F), lo que permite que la válvula soporte mejor los precursores de baja presión de vapor que requieren un suministro a alta temperatura. Esto da a los fabricantes el control necesario para maximizar la producción y el rendimiento.
Las válvulas ALD7 tienen un diseño compacto con un aislante térmico integrado, lo que permite a los diseñadores de sistemas maximizar el espacio limitado cerca de la cámara de reacción de las herramientas de producción de chips. Las válvulas también son muy resistentes a los gases corrosivos utilizados en los procesos ALD, con cuerpos de válvulas de acero inoxidable Swagelok 316L VIM-VAR de ultra alta pureza patentado. El resultado es que los fabricantes de herramientas para semiconductores pueden confiar en las válvulas ALD7 para ofrecer un rendimiento constante en condiciones de proceso variables, mejorando la productividad de los clientes sin aumentar los costes operativos.
"Desde que desarrollamos la primera válvula ALD de la industria, hace casi 20 años, hemos trabajado con los clientes del sector del semiconductor para comprender mejor los niveles de rendimiento que necesitan nuestras válvulas UHP, a medida que los fabricantes de chips siguen reduciendo los nodos de proceso y maximizando el rendimiento de los chips", explica Ben Olechnowicz, director de producto de Swagelok. "Esto ha llevado a seguir pensando de forma innovadora y a desarrollar válvulas que actúen más rápido, que rindan en condiciones más extremas y que permitan coeficientes de caudal más elevados en procesos exigentes de capas atómicas. La ALD7 ha sido diseñada como una válvula de producción fiable las 24 horas del día que cumple todos esos requisitos, ofreciendo a nuestros clientes la consistencia de rendimiento necesaria para mantenerse a la cabeza en un sector que parece estar siempre cambiando y exigiendo más a los fabricantes".
La ALD7 actualmente está disponible en configuración de montaje modular superficial con cierre C de alto caudal o en configuraciones rectas con soldadura de tubo a tope, y con conexiones finales mediante accesorios de cierre frontal Swagelok VCR®. También hay disponibles como componentes adicionales sensores de posición electrónicos de alta temperatura, sensores de posición ópticos o configuraciones de válvulas pilotadas por solenoides.
Para ampliar la información sobre la nueva válvula de diafragma ALD7 UHP Swagelok, visite swagelok.com o contacte con su centro local de ventas y servicio Swagelok.
Acerca de Swagelok
Swagelok Company es un desarrollador privado de productos para sistemas de fluidos, ensamblajes y servicios para las industrias del petróleo, gas, semiconductores y energías limpias, con un valor de 2.000 millones de dólares. Con sede en Solon, Ohio, EE.UU., Swagelok atiende a sus clientes a través de aproximadamente 200 centros de ventas y servicio en 70 países, con el apoyo de la experiencia de más de 5.700 empleados en 20 plantas de fabricación y cinco centros tecnológicos globales.