Компания Swagelok объявляет о выпуске клапана сверхвысокого давления ALD7

Новый клапан Swagelok^® ALD7 UHP позволяет производителям полупроводников повысить выход стружки

Усовершенствованный мембранный клапан обеспечивает максимальную точность дозирования, быстрое срабатывание и стабильную работу в течение десятков миллионов производственных циклов.

Солон, Огайо (2 августа 2022 г.) — Компания Swagelok, ведущий поставщик продукции, узлов и сопутствующих услуг для жидкостных систем, объявила о выпуске мембранного клапана Swagelok^® ALD7 сверхвысокой чистоты (UHP) — продукта, способного обеспечить постоянство и длительный срок службы, необходимый производителям полупроводников для повышения производительности чипов. По сравнению с современным клапаном ALD6 компании Swagelok, клапан ALD7 обеспечивает лучшую стабильность потока, пропускную способность и скорость привода. Он также обеспечивает производительность при высоких температурах, необходимую производителям микросхем для преодоления ограничений текущих производственных процессов и удовлетворения спроса.

Клапаны ALD7 можно интегрировать как в новые инструменты, так и в устаревшее оборудование, чтобы обеспечить улучшенную пропускную способность (до 0,7 C_v) при той же занимаемой площади 1,5 дюйма (38,1 мм), что и существующие клапаны, что помогает Производители удовлетворяют высокий глобальный спрос на чипы, лежащие в основе передовых технологий. Клапаны ALD7 обеспечивают точное дозирование в течение десятков миллионов производственных циклов ALD (атомно-слойное осаждение), срабатывая быстрее и стабильнее, чем даже его предшественник ALD6. Время отклика привода на открытие и закрытие может составлять менее 5 мс. Привод выдерживает погружение при температуре 150°C (302°F), а корпус клапана рассчитан на температуру 200°C (392°F), что позволяет клапану лучше выдерживать прекурсоры с низким давлением пара, требующие подачи при высокой температуре. Это дает производителям контроль, необходимый для максимизации производительности и выхода продукции.

Клапаны ALD7 имеют компактную конструкцию со встроенным термоизолятором, что позволяет разработчикам систем максимально эффективно использовать ограниченное пространство возле реакционной камеры инструментов для производства стружки. Клапаны также обладают высокой устойчивостью к агрессивным газам, используемым в процессах ALD, а корпуса клапанов изготовлены из запатентованной нержавеющей стали Swagelok 316L VIM-VAR сверхвысокой чистоты. В результате производители полупроводниковых инструментов могут положиться на клапаны ALD7, которые обеспечат стабильную работу в переменных условиях технологического процесса, повышая производительность клиентов без увеличения эксплуатационных расходов.

“С момента разработки первого в отрасли клапана ALD, пригодного для использования почти 20 лет назад, мы работали с заказчиками полупроводников, чтобы лучше понять уровни производительности, необходимые для наших клапанов UHP, поскольку производители чипов продолжают сокращать технологические узлы и максимизировать чип. урожайность», объясняет Бен Олехнович, менеджер по продукции Swagelok. «Это привело к инновационному мышлению и разработке клапанов, которые срабатывают быстрее, работают в более экстремальных условиях и обеспечивают более высокие коэффициенты потока в сложных процессах атомного слоя. Мы разработали ALD7 как надежный круглосуточный производственный клапан, который соответствует всем этим требованиям, обеспечивая нашим клиентам стабильную производительность, необходимую для того, чтобы оставаться впереди в отрасли, которая, казалось бы, постоянно меняется и требует от производителей все большего».

Сегодня ALD7 доступен в модульной конфигурации для поверхностного монтажа с высокопоточным C-образным уплотнением или в прямой конфигурации с трубчатым стыковым приварным швом и торцевыми соединениями фитинга с торцевым уплотнением Swagelok VCR^® . В качестве дополнительных компонентов также доступны высокотемпературные электронные датчики положения, оптические датчики положения или электромагнитные пилотные клапаны.

Для получения дополнительной информации о новом мембранном клапане ALD7 UHP компании Swagelok посетите сайт swagelok.com или обратитесь к своему местный центр продаж и обслуживания Swagelok.

О компании Swagelok

Компания Swagelok — это частная компания с оборотом в 2 миллиарда долларов, занимающаяся разработкой продукции, узлов и услуг для гидравлических систем для нефтегазовой, полупроводниковой и экологически чистой энергетики. Компания Swagelok со штаб-квартирой в Солоне, штат Огайо, США, обслуживает клиентов примерно через 200 центров продаж и обслуживания в 70 странах, опираясь на опыт более 5700 сотрудников на 20 производственных предприятиях и пяти глобальных технологических центрах.