Swagelok annonce le lancement de la vanne très haute pureté ALD7
La nouvelle vanne très haute pureté ALD7 Swagelok® permet aux fabricants de semi-conducteurs d’améliorer le rendement de la production de puces électroniques
Cette vanne à membrane sophistiquée qui s’actionne rapidement offre un dosage d’une précision maximale et des performances constantes sur des dizaines de millions de cycles de production.
SOLON, Ohio – (2 juin 2022) – Swagelok, l’un des principaux fournisseurs de solutions, de produits, d’assemblages et de services pour les systèmes fluides, a annoncé le lancement de la vanne à membrane très haute pureté ALD7 Swagelok® – un produit capable d’offrir la constance et la durée de vie nécessaires aux fabricants de semi-conducteurs pour améliorer le rendement de la production de puces électroniques. Comparée à la vanne ALD6 – le produit haut de gamme actuel de Swagelok –, la vanne ALD7 offre une plus grande régularité de l’écoulement, une capacité de débit plus élevée et un actionnement plus rapide de l’actionneur. Par ailleurs, le produit reste performant à des températures plus élevées, ce qui permet aux fabricants de puces de surmonter les limitations des procédés de fabrication actuels pour faire face à la demande.
Les vannes ALD7 peuvent être intégrées à de nouveaux outils ou équipements existants pour améliorer la capacité de débit (avec jusqu’à 0,7 de Cv) tout en conservant l’encombrement de 38 mm (1,5 po) des vannes actuelles, afin d’aider les fabricants à répondre à la forte demande mondiale de puces dans le secteur des technologies de pointe. En s’actionnant plus rapidement et d’une manière plus constante que les vannes ALD6, les vannes ALD7 offrent un dosage d’une grande précision sur des dizaines de millions de cycles de production (dépôt par couche atomique). Le temps de réponse de l’actionneur pour ouvrir et fermer la vanne peut descendre en dessous des 5 ms. L’actionneur peut être immergé dans un milieu à 150°C (302°F) et le corps de la vanne est conçu pour résister à des températures allant jusqu’à 200°C (392°F), permettant ainsi à la vanne d’acheminer plus facilement des gaz précurseurs à faible pression de vapeur saturante qui nécessitent des températures élevées. Cela donne aux fabricants le contrôle nécessaire pour maximiser la production et les rendements.
Compactes et équipées d’un isolant thermique intégré, les vannes ALD7 permettent aux concepteurs de systèmes d’optimiser l’utilisation de l’espace à proximité de la chambre de réaction des outils de production de puces. L’acier inoxydable 316L VIM-VAR exclusif utilisé par Swagelok pour fabriquer le corps de la vanne ALD7 confère à celle-ci une grande résistance aux gaz corrosifs utilisés dans les procédés de dépôt par couche atomique. Par conséquent, les fabricants d’outils pour le secteur des semi-conducteurs peuvent compter sur les vannes ALD7 pour offrir des performances constantes dans des conditions de process variables, et améliorer ainsi la productivité de leurs clients sans augmenter leurs coûts d’exploitation.
« Depuis le développement de la première vanne ALD il y a près de 20 ans, nous avons travaillé avec des clients du secteur des semi-conducteurs pour mieux comprendre les niveaux de performance demandés à nos vannes très haute pureté, alors que les fabricants de puces continuent de réduire les nœuds de traitement et de maximiser les rendements », explique Ben Olechnowicz, responsable produit chez Swagelok. « Cela a débouché sur une réflexion novatrice et le développement de vannes capables de s’actionner plus rapidement, de fonctionner dans des conditions extrêmes et d’acheminer des débits plus importants, pour faire face aux rigueurs des procédés de dépôt par couches atomiques. Nous avons conçu la vanne ALD7 pour qu’elle puisse fonctionner 24 heures sur 24 tout en restant fiable, afin d’offrir à nos clients les performances constantes nécessaires pour garder une longueur d’avance dans un secteur qui semble évoluer en permanence et exiger toujours plus des fabricants. »
La vanne ALD7 est actuellement disponible dans une configuration pour montage modulaire de surface avec joint en C haut débit ou dans des configurations droites avec raccordements de type tube à souder bout à bout ou raccord VCR Swagelok®. Des configurations avec capteurs de position électroniques haute température, capteurs de position optiques ou électrovannes pilotes sont également disponibles.
Pour obtenir des renseignements supplémentaires sur la nouvelle vanne très haute pureté ALD7 de Swagelok, visitez le site www.swagelok.com.fr ou prenez contact avec un centre de vente et services agréé Swagelok.
À propos de Swagelok
Swagelok est une entreprise non cotée en bourse d’une valeur de 2 milliards de dollars, qui conçoit des produits pour systèmes fluides, des assemblages et des services destinés aux secteurs du pétrole du gaz, des semi-conducteurs et des énergies propres. Les clients de la société Swagelok, dont le siège se situe à Solon dans l’Ohio, bénéficient d’un réseau de près de 200 centres de vente et de services implantés dans 70 pays, qui peuvent compter sur l’expertise de plus de 5700 collaborateurs rattachés au siège et répartis sur 20 sites de production et cinq centres technologiques dans le monde.