스웨즈락, ALD7 UHP 밸브 발표
신제품 스웨즈락® ALD7 UHP 밸브는 반도체 칩 수율 향상에 기여합니다
수천만 회의 생산 사이클에서 최고의 투여 정밀도, 빠른 개폐 작동, 일관적인 성능을 제공하는 첨단 다이어프램 밸브.
오하이오주, 솔론(2022년 8월 2일) - 유체 시스템 제품, 어셈블리 및 관련 서비스의 선도적인 솔루션 제공업체인 스웨즈락은 반도체 칩 수율을 높이는 데 필요한 일관성과 긴 사용 수명을 갖춘 스웨즈락® ALD7 초고순도(UHP, Ultrahigh-purity) 다이어프램 밸브를 발표했습니다. 스웨즈락의 현재 최상위 제품 라인인 ALD6 밸브와 비교할 때, ALD7은 더 뛰어난 유동 일관성, 유동 용량, 액추에이터 속도를 제공합니다. 또한, 칩 제조업체가 현재 생산 공정의 한계를 극복하고 수요에 대응하는 데 필요한 고온 환경에서도 우수한 성능을 발휘합니다.
유량이 향상된(최대 0.7 Cv) ALD7 밸브는 기존 밸브와 같은 38.1mm의 공간에 설치할 수 있기 때문에, 새로운 장비나 기존 장비에 문제 없이 통합할 수 있습니다. 즉, 첨단 기술의 원동력이 되는 반도체 칩의 수요가 전 세계적으로 늘어나는 데 대해 유연하게 대응할 수 있다는 것을 의미합니다. ALD7 밸브는 이전 세대 ALD6보다 더 빠르고 일관적인 개폐 작동으로 수천만 회 이상의 ALD(원자층 증착) 생산 사이클에서 정밀한 투여량을 제공합니다. 액추에이터의 개폐 응답 시간은 5ms 미만일 수 있습니다. 액추에이터는 150°C(302°F)까지 봉입 가능하며 밸브 몸체는 200°C(392°F)까지 대응 가능하므로, 고온의 저증기압 프리커서를 안정적으로 공급할 수 있습니다. 이는 제조업체가 생산량과 수율 극대화에 필요한 변수를 제어할 수 있다는 것을 의미합니다.
ALD7 밸브는 단열재가 통합된 컴팩트 디자인이 특징이므로, 시스템 설계자가 반도체 공정 장비 반응 챔버 주변에 있는 제한적인 공간을 최대한 활용할 수 있습니다. 이 밸브는 또한 독점적인 초고순도 스웨즈락 316L VIM-VAR 스테인리스강으로 밸브 몸체가 구성되어 ALD 공정에 사용되는 부식성 가스에 매우 저항력이 뛰어납니다. 즉, 다양한 공정 조건에서 항상 일관적인 성능을 제공하는 ALD7를 사용하면 반도체 장비업체는 운영 비용을 대폭 늘리지 않고도 생산성을 강화할 수 있게 됩니다.
스웨즈락 생산 매니저인 Ben Olechnowicz가 다음과 같이 설명합니다. "스웨즈락은 약 20년 전에 업계 최초로 ALD 전용 밸브를 개발한 이래로, 칩 제조업체들이 계속 공정 노드를 축소하고 칩 수율을 극대화하면서 당사 UHP 밸브가 어떤 수준의 성능을 갖춰야 하는지 더 잘 이해할 수 있도록 반도체 분야 고객들과 협력해왔습니다." "이에 따라, 더 빠르게 작동하고, 더 극한의 조건에서 성능을 발휘하며, 까다로운 원자층 공정에서 더 높은 유량 계수를 지원하는 혁신적인 밸브 개발이 이어졌습니다. 스웨즈락은 ALD7을 설계할 때, 모든 요구 사항을 충족하는 신뢰성 높은 밸브에 초점을 맞췄습니다. 그 결과, ALD7은 끊임없이 변화하고 까다로운 업계에서 경쟁 우위를 유지하는 데 필요한 성능을 제공할 수 있게 되었습니다.”
ALD7은 현재 대유량 C-씰이 있는 모듈 조립형 구성 또는 튜브 맞대기 용접과 스웨즈락 VCR® 면 밀폐 피팅 연결구가 있는 직선형 구성으로 공급됩니다. 고온 전자 위치 센서, 광학 위치 센서 또는 솔레노이드 파일롯 밸브 구성도 부품을 추가하는 옵션으로 공급 가능합니다.
스웨즈락의 새로운 ALD7 UHP 다이어프램 밸브에 대해 더 자세히 알아보려면, swagelok.com을 방문하거나 현지 스웨즈락 판매 및 서비스 센터에 문의하십시오.
스웨즈락 소개
스웨즈락은 오일, 가스, 반도체, 청정 에너지 산업용 유체 시스템 제품, 어셈블리, 서비스를 개발하는 자산 가치 약 20억 달러의 비상장 제조업체입니다. 미국 오하이오주 솔론에 본사를 둔 스웨즈락은 5,700명의 직원들이 70개국에 있는 약 200개의 판매 및 서비스 센터에서 고객 여러분께 서비스를 제공하고 있으며, 제조시설 20곳과 글로벌 기술 센터 다섯 곳을 운영하고 있습니다.