Detalles de los Accesorios de cierre frontal de Alta Pureza

Por Qué los Accesorios de Cierre Frontal para Vacío son Ideales para Aplicaciones de Semiconductores de Alta Pureza

Masroor Malik, Director de Mercado de Semiconductores, Swagelok

Dado que la industria del semiconductor se esfuerza por conseguir nodos de proceso cada vez más pequeños para producir chips más potentes, mantener la limpieza del proceso es un reto cada vez mayor. Para satisfacer estas necesidades siempre cambiantes, las plantas deben crear entornos de producción de precisión y limpieza absoluta, y los fabricantes de equipos deben desarrollar equipos que se adapten continuamente a estas necesidades.

En las aplicaciones más exigentes de los sistemas de fluidos de ultra alta pureza (UHP) -gases inertes o especiales, por ejemplo- las conexiones de los racores son una consideración crítica para los fabricantes de herramientas. Aunque los sistemas UHP suelen estar soldados para minimizar la posibilidad de fugas, algunas conexiones deben reutilizarse periódicamente para su mantenimiento o sustitución. Pero debido a la naturaleza corrosiva de algunos fluidos de proceso modernos y a las condiciones operativas, las opciones de accesorios tradicionales con juntas tóricas de elastómero pueden ser inadecuadas para mantener la fiabilidad debido a la incompatibilidad de los materiales. Al mismo tiempo, la estanqueidad es de suma importancia. Las fugas pueden ser peligrosas, pueden contaminar el entorno UHP y pueden costar al fabricante una importante pérdida de ingresos y gastos de mantenimiento.

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En este tipo de aplicaciones, los accesorios de cierre frontal para vacío pueden ser una solución potencial. En comparación con los accesorios tradicionales, esta tecnología ofrece la fiabilidad de un cierre metal-metal, ofreciendo un rendimiento a prueba de fugas con un diseño desde vacío a presión positiva. Los accesorios de cierre frontal para vacío también pueden ayudar a mejorar la limpieza general minimizando las zonas de atrapamiento y pueden mejorar la eficiencia de la producción y el mantenimiento gracias a su sencillo proceso de instalación.

Rendimiento Inmejorable del Cierre

Los accesorios de cierre frontal para vacío se desarrollaron por primera vez para utilizarlos en sistemas de alto vacío en la década de los 60, que fueron fundamentales para la investigación científica pionera de la industria de la energía nuclear. En la actualidad, su capacidad para mantener un cierre estanco para fluidos altamente tóxicos, corrosivos e inflamables las ha convertido en ideales para algunas de las aplicaciones más populares en la producción de semiconductores.

Un accesorio de cierre frontal para vacío utiliza dos labios altamente pulidos que deforman una junta metálica durante el acoplamiento de la tuerca macho y hembra para conseguir esos altos niveles de rendimiento. El cierre se produce entre la junta y el "frontal" del labio, lo que da nombre al accesorio. Dado que el cierre se forma cuando los labios deforman la junta, el material de la junta debe ser siempre más blando que los labios. Esta deformación permite que los labios mantengan el pulido, lo que es fundamental para el rendimiento del cierre. Es importante proteger los labios pulidos siempre que se desmonten los accesorios. En condiciones operativas habituales, el gas que fluye por el accesorio recorre la totalidad del cierre, lo que facilita su purga y es ideal para sistemas en los que deben evitarse los volúmenes atrapados y los espacios muertos.

La capacidad de los accesorios de cierre frontal para vacío para mantener un cierre estanco, los ha hecho ideales para algunas de las aplicaciones más importantes en la producción de semiconductores.

Además de crear un cierre fiable, los accesorios de cierre frontal para vacío están diseñados para eliminar las zonas de posible atrapamiento de contaminantes en comparación con los racores para tubo tradicionales. Dado que los procesos UHP de semiconductores contienen gases que, en última instancia, viajarán aguas abajo y estarán expuestos a la oblea en la cámara de proceso, cualquier oportunidad de asegurar la limpieza y la pureza es valiosa. Los accesorios de cierre frontal para vacío ofrecen el tipo de limpieza excepcional que exigen los entornos de producción de semiconductores. Algunos proveedores pueden ofrecer mejoras adicionales; aceros inoxidables de mayor calidad con elevadas concentraciones de níquel y cromo pueden mejorar aún más la resistencia a la corrosión, y los tratamientos de acabado superficial como el electropulido dejan una capa de pasivación para mejorar la limpieza.

Instalación y Mantenimiento Eficientes

Los procedimientos de mantenimiento y conservación de los sistemas UHP deben llevarse a cabo con rapidez y con una interrupción mínima del funcionamiento de las instalaciones, porque en el mundo de la fabricación de semiconductores, el tiempo es oro.

Dado que se pueden desmontar y reutilizar con facilidad, los accesorios de cierre frontal para vacío ofrecen ventajas de eficiencia y mantenimiento en las aplicaciones de UHP en las que se requiere un punto de desmontaje. La instalación es sencilla y se puede realizar con herramientas estándar. En primer lugar, la conexión se rosca con los dedos. A continuación, se sujeta la tuerca macho mientras se gira la tuerca hembra 1/8 de vuelta (45°) más allá del apriete manual con una llave (o 1/4 de vuelta 90° si se utiliza una junta de cobre). Cuando sea necesario reutilizarla, los técnicos deben retirar la junta usada y sustituirla por otra, y luego seguir las instrucciones de instalación originales. Este sencillo proceso puede crear mayor eficiencia durante el ensamblaje inicial del sistema y siempre que se requiera mantenimiento, ayudando a los usuarios a volver a la producción más rápidamente.

Vea Cómo Instalar un Accesorio de Cierre Frontal para Vacío

Los accesorios de cierre frontal para vacío representan una opción ideal en los sistemas UHP en los que la fiabilidad y la facilidad de mantenimiento son fundamentales. Si decide especificarlos para su sistema, también es importante trabajar con el proveedor adecuado.

Swagelok tiene un legado de innovación en sistemas de fluidos para los procesos de aplicación del semiconductor que se remonta a los primeros días de Silicon Valley. Nuestros accesorios de cierre frontal con junta plana metálica VCR^®se diseñaron específicamente para solucionar los desafíos únicos que se encuentran en el control y la distribución de los gases UHP que fluyen a través de las instalaciones de los fabricantes hasta las herramientas de fabricación de chips de los OEM.

Entendemos los retos diarios a los que se enfrenta un entorno de producción de semiconductores—y nos complace compartir nuestros conocimientos con nuestros clientes. Tenemos disponibles amplios cursos de formación sobre nuestros accesorios VCR, sus características de diseño y dónde pueden aplicarse con mayor eficacia. Los participantes también podrán aprender lo que se necesita para instalar cada tipo de racor de forma eficaz y cómo solucionar cualquier posible problema.

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