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Control Térmico para Optimizar la Fabricación de Obleas de Semiconductores

Imagen en primer plano del proceso de fabricación de obleas de semiconductores

Cómo Optimizar el Rendimiento de la Fabricación de Obleas de Semiconductores con un Control Térmico Adecuado

Brian Rudary, Jefe de Ingeniería de Soluciones de Aplicaciones, Swagelok, y Doug Nordstrom, Jefe de Producto, Swagelok

La fabricación de obleas de semiconductores es cada día más difícil. A medida que se dispara la demanda mundial de los chips, las plantas, los fabricantes de equipos originales y todas las partes de la cadena de valor siguen impulsando nuevas eficiencias en los procesos y aprovechando las nuevas tecnologías para maximizar el rendimiento.

Una estrategia generalmente eficaz para maximizar el rendimiento es mantener una estabilidad de temperatura ultrabaja en la cámara de deposición para una producción más eficiente de fabricación de obleas de semiconductores. Pero como las temperaturas requeridas alcanzan ahora los -40 C, un rendimiento inferior al óptimo en todo el lazo térmico—el ecosistema de enfriadores, bombas, intercambiadores de calor y los componentes que los conectan—puede resultar inaceptable en los entornos de las plantas actuales.

¿Cómo puede asegurarse de que su lazo térmico cumple los requisitos? Veamos tres áreas críticas que pueden ayudarle a optimizar la gestión térmica en sus instalaciones, permitiéndole maximizar el rendimiento de la fabricación de obleas de semiconductores.

Esquema de un lazo térmico para la fabricación de obleas de semiconductores
El lazo térmico está formado por:

  • Enfriadores, que enfrían el fluido que circula por el equipo.
  • Intercambiadores de calor, que suministran fluidos caldeados al espacio que rodea la cámara de proceso.
  • Conjuntos de mangueras y soldaduras, bombas y válvulas con aislamiento, que ayudan a distribuir el fluido a temperatura controlada a lo largo de todo el ciclo.
  • Sistemas de monitorización y control, que ajustan los caudales y la temperatura.
  • Sistemas de filtración y purificación, que evitan la contaminación y eliminan las impurezas.

Recursos sobre Semiconductores

Selección Optimizada de Componentes

Para satisfacer las necesidades de los procesos actuales de producción de obleas de semiconductores, los componentes de alto rendimiento que conectan los sistemas críticos de su lazo térmico son vitales. Todos los componentes, incluidas las mangueras, las válvulas, los racores, los filtros, etc., deben estar debidamente clasificados para gestionar las presiones, los caudales y las temperaturas extremas actuales.

Piense, por ejemplo, en las mangueras de su enfriador. Una manguera debe estar correctamente aislada para mantener con eficiencia las temperaturas requeridas y evitar la condensación, un modo de fallo crítico en entornos de producción estrechamente controlados. Si la temperatura de la superficie de una manguera de refrigeración es inferior al punto de rocío ambiente, puede formarse condensación en el exterior de la manguera. El coste resultante de las paradas puede ser muy elevado.

Gran variedad de mangueras de refrigeración con aislamiento SwagelokPero para obtener el rendimiento térmico deseado no basta con especificar un aislamiento adicional. Por el contrario, especificar el nivel adecuado de aislamiento puede ayudar a optimizar costes y, al mismo tiempo, ofrecer un rendimiento fiable. Piense que las mangueras que conectan los componentes del lazo térmico pueden medir entre 10 y 15 metros de largo y representar un coste importante para el fabricante debido a su importancia crítica. Si un aislamiento insuficiente puede provocar condensación y, por tanto, el fallo de la manguera, un aislamiento excesivo puede disparar aún más el precio y ofrecer pocas o ninguna ventaja al fabricante.

Por otra parte, otros componentes críticos del lazo térmico deben ser capaces de satisfacer exigencias cada vez mayores. Las válvulas comunes o los racores para tubo pueden no ser suficiente para las temperaturas ultrabajas. Son fundamentales, en cambio, los componentes desarrollados específicamente para las necesidades de los entornos de producción de semiconductores. Por estas razones, trabajar con un proveedor que pueda ayudarle a identificar y recomendar los componentes óptimos en función de los parámetros específicos de sus aplicaciones puede ayudar a los fabricantes de equipos originales y a las plantas a satisfacer las demandas de producción actuales.


 

Técnicas de Instalación Adecuadas y Pruebas de Rendimiento

Aunque la selección del producto es fundamental, una gestión térmica eficaz también depende de una instalación y aplicación adecuadas. Estos procesos son fundamentales para conseguir la consistencia, repetitividad y limpieza deseadas, así como un entorno de operación sin humedad.

Empieza por lo básico. Conseguir sistemas sin fugas depende de seguir los fundamentos de una correcta instalación de racores para tubo y válvulas. La instalación incorrecta es una de las razones más comunes por las que fallan los sistemas de fluidos críticos, no sólo en el entorno del semiconductor, sino en todas las industrias. Pérdida de beneficios, disminución de la eficiencia de la producción e incluso problemas de seguridad son consecuencias potenciales de una mala instalación.

Dos mangueras de refrigeración aisladas que forman condensación debido a su proximidadAdemás, el trazado estratégico de las líneas de refrigeración es otra herramienta importante para evitar la condensación. Cuando las mangueras frías del enfriador están demasiado cerca unas de otras, la temperatura de la superficie de las mangueras puede caer por debajo del punto de rocío, provocando la formación de condensación. Cuanto menor sea la distancia entre las mangueras, más se acercará la temperatura del aire entre las mangueras a la temperatura del fluido en la manguera. Una recomendación general es mantener las mangueras con aislamiento envolvente a una distancia mínima de 31 cm (12 pulg.). Si las aplicaciones requieren una separación menor, pueden ser necesarias capas adicionales de aislamiento.

Más Información sobre la Gestión del Lazo Térmico

Esquema de una manguera de refrigeración aislada y los efectos que produce el doblado en el aislamiento.El aire estancado también puede afectar a la temperatura superficial de las líneas de refrigeración. A medida que aumenta el flujo de aire, las temperaturas superficiales pueden tender más hacia la temperatura ambiente. Piense en una manguera que pase por una zona limitada, como un subsuelo. En el caso de que por la manguera circulen fluidos fríos, podría formarse condensación en el exterior de la manguera, que podría gotear sobre equipos sensibles.

Por último, aunque el radio de curvatura mínimo de una manguera no cambia cuando está aislada, doblarla puede afectar a sus propiedades aislantes. Para minimizar estos efectos se suele recomendar hacer curvas más abiertas, con un radio de curvatura mayor. Si esto no es posible, piense en compensarlo con capas adicionales de aislamiento.

Invertir en Relaciones

Dado que los fabricantes de herramientas para semiconductores y las plantas de producción tienen muchas otras prioridades que compiten entre sí, mantener una gestión térmica eficaz puede hacerse más fácilmente trabajando con un proveedor asesor con experiencia en estos sistemas cada vez más críticos.

Técnicos Swagelok evalúan los sistemas de fluidos para la fabricación de obleas de semiconductorUn socio competente no sólo puede ayudarle a seleccionar y especificar los componentes y conexiones adecuados, sino también a reducir los gastos de capital y operativos mediante procesos optimizados. Un socio también puede ofrecer herramientas de cálculo que le ayuden a determinar el aislamiento adecuado en función de sus parámetros operativos. Esto es especialmente importante si se tiene en cuenta que el margen de error es cada vez menor en el acelerado sector del semiconductor.

Las ventajas de trabajar con un proveedor con estas herramientas y experiencia pueden ser considerables:

Icono de reducción de paradas


Reducción de las paradas gracias a la prevención de la condensación


Icono de fabricación de obleas de semiconductor 

Aumento del rendimiento de los chips semiconductores gracias a la minimización de la variación térmica y la eficiencia de la transferencia de fluidos.


Icono de aumento de la eficiencia en la fabricación de obleas de semiconductores 

Aumento de la eficiencia y reducción de los costes energéticos gracias a la mejora del rendimiento de los enfriadores.

Mantener una funcionalidad óptima del lazo térmico es esencial para maximizar la consistencia y el rendimiento de los chips en entornos de fabricación de obleas de semiconductores. Si está interesado en profundizar en la gestión del lazo térmico o en otras formas de optimizar las operaciones de fabricación de obleas de semiconductores mediante diversas soluciones de ingeniería, nuestro equipo está disponible para asesorarle. Mientras tanto, puede explorar El Punto de Referencia Swagelok para encontrar otras soluciones que le ayuden a optimizar los procesos de producción de obleas y otros aspectos críticos de la industria del semiconductor.

Conozca a Fondo la Fabricación de Obleas de Semiconductores

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