Зачем нужны фитинги с торцевым уплотнением высокой степени чистоты

Вакуумные фитинги Swagelok с торцевым уплотнением идеально подходят для использования в производстве полупроводников высокой степени чистоты

Масрур Малик (Masroor Malik), руководитель направления рынка полупроводников компании Swagelok

Учитывая постоянное стремление полупроводниковой промышленности к уменьшению функциональных узлов для производства более мощных микросхем, поддерживать чистоту техпроцесса становится все сложнее и сложнее. В связи с этим изготовители должны обеспечивать бескомпромиссную точность и чистоту производственной среды, а OEM-производители должны разрабатывать оборудование, соответствующее этим потребностям.

В самых требовательных жидкостных и газовых системах сверхвысокой степени чистоты — системах инертных газов или газов специального назначения, к примеру, — фитинговые соединения имеют критически важное значение для OEM-производителей оборудования. Хотя в системах сверхвысокой степени чистоты часто используются сварные соединения, чтобы свести к минимуму вероятность утечки, некоторые соединения необходимо периодически переделывать в целях техобслуживания или замены. Но в связи с коррозионностью некоторых современных технологических жидкостей и условий эксплуатации традиционные варианты фитингов с эластомерными уплотнительными кольцами могут не обеспечивать надежную работу из-за несовместимости материалов. Между тем, герметичность имеет важнейшее значение. Утечки могут быть опасными, приводить к загрязнению среды сверхвысокой степени чистоты, значительной потере прибыли и затратам на техобслуживание.

Подробнее о решениях для жидкостных и газовых систем в полупроводниковой промышленности

Для таких систем потенциально могут подойти вакуумные фитинги с торцевым уплотнением. В отличие от традиционных фитингов данная технология обеспечивает надежное герметичное уплотнение «металл-металл» в условиях от вакуума до положительного давления. Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением также могут повысить общий уровень чистоты, сведя к минимуму количество зон скопления частиц, а также увеличить общую эффективность производства и техобслуживания за счет простоты монтажа.

Безупречная герметичность

Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением были впервые разработаны с целью применения в вакуумных системах сверхвысокой степени чистоты в 60-х годах прошлого века и сыграли важнейшую роль в революционных научных исследованиях в области атомной энергетики. Сегодня способность обеспечивать герметичность при работе с высокотоксичными, коррозионными и горючими жидкостями сделала их идеальным выбором для самых популярных систем в полупроводниковой промышленности.

В целях достижения высокой степени герметичности в вакуумных фитингах с торцевым уплотнением используются закраины двух втулок с зеркальной полировкой для деформации металлической прокладки при монтаже гаек с наружной и внутренней резьбой. Уплотнение образуется на прокладке с торцевой стороны закраины втулки, с чем и связано название фитинга. Поскольку уплотнение образуется, когда закраины втулок проникают в прокладку, прокладка должна быть изготовлена из более мягкого материала, чем закраины втулок. Такая деформация позволяет закраинам втулок сохранить полировку, что имеет важнейшее значение для герметичности. Важно обеспечить защиту отполированных закраин втулок при каждом демонтаже фитингов. В обычных условиях эксплуатации уплотнение полностью продувается газом, проходящим через фитинг, что упрощает продувку и идеально подходит для систем, в которых следует избегать застойных зон.

Герметичность вакуумных фитингов с торцевым уплотнением делает их идеально подходящими для самых важных систем при производстве полупроводников.

Помимо герметичности, вакуумные фитинги с торцевым уплотнением также позволяют устранить зоны потенциального скопления частиц, что отличает их от обычных трубных обжимных фитингов. Поскольку полупроводниковые системы сверхвысокой степени чистоты содержат газы, которые в конечном итоге попадут к выходу из системы и вступят в контакт с пластиной в технологической камере, важно использовать любую возможность обеспечить чистоту. Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением обеспечивают высочайшую степень чистоты, необходимую при производстве полупроводников. Некоторые поставщики могут предлагать дополнительные усовершенствования; нержавеющая сталь более высокой марки с повышенной концентрацией никеля и хрома позволяет еще больше повысить коррозионную стойкость, а обработка поверхности, например электрополировка, обеспечивает пассивирование для повышения степени чистоты.

Удобство монтажа и техобслуживания

Процедуры техобслуживания и ремонта систем сверхвысокой степени чистоты должны выполняться быстро и с минимальными простоями в работе предприятия, поскольку в полупроводниковой промышленности время — деньги.

Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением можно без труда демонтировать и пересобрать, что обеспечивает связанные с эффективностью и техобслуживанием преимущества при использовании в системах сверхвысокой степени чистоты, где необходимо учитывать критерии целесообразности ремонта. Процедура монтажа проста и может выполняться с помощью обычных инструментов. Сначала нужно вручную затянуть соединение. Затем удерживайте гайку с наружной резьбой в неподвижном положении, одновременно прокручивая гайку с внутренней резьбой на 1/8 оборота (45°) с помощью гаечного ключа (или на 1/4 оборота или 90° при использовании уплотнения из меди). Если требуется пересборка, технические специалисты должны снять использованную прокладку и заменить ее на другую, а затем следовать инструкциям по первоначальной сборке. Это простая процедура обеспечивает эффективность первоначальной сборки системы и техобслуживания при необходимости, позволяя быстрее возобновлять производство.

Посмотреть процедуру монтажа вакуумного фитинга с торцевым уплотнением

Вакуумные фитинги с торцевым уплотнением — идеальный выбор для систем сверхвысокой степени чистоты, в которых надежность и простота техобслуживания имеют важнейшее значение. Если вы хотите заказать их для своей системы, важно подобрать подходящего поставщика.

Swagelok имеет репутацию новатора в сфере жидкостных и газовых систем для полупроводниковой промышленности, которая восходит еще к эпохе появления Кремниевой долины. Наши фитинги с металлической прокладкой и торцевым уплотнением VCR^® специально предназначены для решения уникальных задач, связанных с транспортировкой и распределением газов сверхвысокой степени чистоты на предприятиях OEM-производителей микросхем.

Мы понимаем задачи, с которыми ежедневно сталкиваются производители полупроводников, и рады поделиться знаниями с нашими заказчиками. Мы предлагаем полноценные учебные курсы, посвященные нашим фитингам VCR, их конструктивным особенностям и эффективному применению. Слушатели курсов также могут узнать, как правильно устанавливать фитинг каждого типа и устранять потенциальные проблемы.

Хотите узнать больше о наших фитингах с торцевым уплотнением VCR и учебных курсах? Наши специалисты готовы прийти на помощь.

Подробнее о наших изделиях сверхвысокой степени чистоты и учебных курсах